乙硼烷是一種無(wú)色有臭味的劇毒氣體，其化學(xué)式為B2H6，它是目前能分離出來(lái)最簡(jiǎn)單的硼烷。乙硼烷能與空氣形成爆炸性混合氣體，并且能在潮濕空氣中發(fā)生爆炸性燃燒。因此，其危險(xiǎn)性非常高。然而，乙硼烷卻可作為火箭和導(dǎo)彈的高能燃料，并且在金屬焊接、烯烴類(lèi)產(chǎn)物的聚合、半導(dǎo)體制造的擴(kuò)散和氧化、外延成長(zhǎng)、氣相淀積中起到重要的作用。所以，在此類(lèi)行業(yè)中必須使用乙硼烷傳感器對(duì)安全性加以監(jiān)測(cè)。

乙硼烷傳感器采用的是電化學(xué)的原理。利用擴(kuò)散進(jìn)入傳感器中乙硼烷在感應(yīng)電極處發(fā)生氧化反應(yīng)，從而通過(guò)測(cè)量與氣體濃度值相關(guān)的感應(yīng)電流大小，便可以得到被測(cè)氣體中乙硼烷的含量。在該氣傳感器中，除感應(yīng)電極和負(fù)電極外，還有一與外部穩(wěn)壓電路連通的參考電極。用于穩(wěn)定感應(yīng)電極的電動(dòng)勢(shì)，避免感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)超出范圍，使測(cè)量值出現(xiàn)非線(xiàn)性的情況。

乙硼烷傳感器參考資料↓

 乙硼烷傳感器.pdf