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高性能單晶硅諧振壓力傳感器高性能單晶硅諧振壓力傳感器，采用電磁激勵和電磁拾振方式工作， 輸出為頻率信號， 抗干擾能力強， 穩(wěn)定性好， 不需MD轉(zhuǎn)換 ， 既能測量絕壓， 也能測量差壓 ， 精度0.1％ ， 其量程可根據(jù)具體應用需求通過調(diào)整制作工藝參數(shù)實現(xiàn)。 技術(shù)應用領域該傳感器是壓力傳感器 中的一 種高端產(chǎn)品， 非常適用于一些特殊環(huán)境如航空、 航天、 氣象、 地 質(zhì)、 航海、 油井和工 業(yè)自動化等領域中的壓力測量 。 該產(chǎn)品一旦研制成功， 將打破國外同類產(chǎn)品對我國的技術(shù)封鎖和感器傳感器芯片的壟斷 ， 并填補我國此類傳感器產(chǎn)品的空白， 且國內(nèi)外的市場需求量都很大。 技術(shù)專業(yè)領域涉及微電子工藝、 微機械加工等技術(shù)領域。 |
