BAFS5012系列氣體質(zhì)量流量傳感器是采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS) 流量傳感芯片制作，適用于各種用途的清潔、相對(duì)干燥性小流量氣體測(cè)量和過程控制，獨(dú)特的封裝技術(shù)使得產(chǎn)品滿足不同范圍的流量測(cè)量，確保高靈敏度，高可靠性，高穩(wěn)定性和低成本。

BAFS5012 是基于MEMS流量傳感單元和高精度數(shù)字處理和標(biāo)定電路（MBU）組成.集成的∆-ΣA/D轉(zhuǎn)換器和具有內(nèi)部校準(zhǔn)功能的邏輯電路及MBU處理器共同保證了傳感信號(hào)實(shí)時(shí)有效采集，獲得精確的流量信號(hào)，并在內(nèi)部進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償算法處理，因此無需再做任何外部校準(zhǔn)補(bǔ)償，就能確保高精度的流量輸出；友好的數(shù)字化輸出通訊方式，用戶可以很方便的得到進(jìn)行通信獲得相應(yīng)數(shù)據(jù)信息；產(chǎn)品應(yīng)用范圍十分廣闊。

特點(diǎn)：

精度高（1.5％F. S精度）
線性輸出和無需溫度補(bǔ)償
以最小的零漂保持長期穩(wěn)定性
快速響應(yīng)時(shí)間
流速范圍寬0~60m/s，抗沖擊100g
固態(tài)傳感核心（無表面空洞或易碎膜），抗堵塞和壓力沖擊
模擬輸出（ 1~5 V）（可提供數(shù)字I²C通信輸出）
能夠適應(yīng)于相對(duì)潮濕性氣體測(cè)量
傳感器可耐冷凝水

性能指標(biāo)

流量范圍	0-50/100/200/300/400 slpm（可定制）
供電電源	8~24VDC，50mA
精度	±1.5%FS
響應(yīng)時(shí)間	65（10,20,30,50,80,100,200 等）ms（可選）
最大壓力	0.8MPa（可定制）
通訊方式	I2C
輸出方式	模擬輸出 1~5V
工作溫度	-25℃~65℃
儲(chǔ)存溫度	-40℃~85℃
濕度	0~99％RH
介質(zhì)溫度	-10℃~65℃
環(huán)境溫度	-25℃~85℃
響應(yīng)時(shí)間	20~30ms
接口	NPT1/2
防護(hù)等級(jí)	IP40
校準(zhǔn)方式	空氣， 0℃，101.325kPa
整體材質(zhì)	不銹鋼（鋁合金可選）